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科技活动周|专家做客“清源讲堂”,讲述光刻机发展历史

2023-05-24 20:05:04 0 分享按钮

  5月24日,由泉州市丰泽区人民政府与我校联合主办,丰泽区工业信息化和科技局、我校科研处承办的《清源讲堂》第二十七讲,在我校教学楼B209学术报告厅举行。本期讲堂作为2023年福建省暨泉州市科技活动周活动之一,邀请到方刚博士作《阿斯麦(ASML)光刻机公司成长过程的启示》主题报告。

  我校副校长张舜德、科研处处长王明吉、机械与电气工程学院副院长高善平、经济与管理学院副院长陈鸿雁,以及相关专业教师、学生代表等参加活动。讲座由王明吉主持。

  讲座中,方刚博士介绍,光刻机是芯片制造中的最核心关键设备,它负责把集成电路版图精确地投影到硅片上。在集成电路制造的诸多工艺单元中,只有光刻能在硅片上实现图形,从而完成器件和电路的构造。光刻机是集精密光学、精密机械、自动化控制和软件工程于一体的系统。它不仅要实现极高的曝光分辨率,而且要具有极高的重复定位精度和速度。先进光刻机也被喻为集成电路装备制造业中“皇冠上的明珠”,需要不同学科和不同技术背景的人才一起合作,包括微电子、电气、光学、机械、物理、计算机、数学、材料等。

  方刚博士曾任世界著名半导体高科技公司荷兰阿斯麦(ASML)中国区的总经理兼客户服务部总经理,是第一个率先建立阿斯麦中国公司的中国区经理,见证了阿斯麦公司一步步走到世界光刻机领头地位的发展历史。他用阿斯麦的精彩故事,将半导体技术和光刻机技术联系起来,介绍了光刻机的发展历史,以及美国和日本光刻机技术的发展和他们之间的关系。

  “阿斯麦公司出生富贵的飞利浦,成立于1984年,初期‘光着脚没鞋穿’,资金匮乏、员工信念动摇、产品落后,飞利浦甚至多次想卖掉它。而阿斯麦每每遇到技术困难和生死一线时,整个团队都会以近乎疯狂的热情和全身心的奉献,怀抱希望和理想,绝不放弃,最终扭转乾坤。”方刚博士说,阿斯麦产品单一,但心无旁骛,38年如一日,将产品做到极致。合作、开放、创新、进取是其成为一代“霸主”的内在精神。

  方刚博士表示,当今世界风云变幻,光刻机已不仅仅是个机器,它与国际政治和世界经济的变化紧紧相连,也将展现出众多学科领域、高技术人才、制造业、市场机会的深度融合的影响,以及其中所包含的社会意义。高端光刻机对于中国半导体产业的发展乃至整个工业化与信息化来说,均属于必须攻克的“卡脖子”设备。目前中国已出台多项科技强国政策,设立国家集成电路产业投资基金,大力扶持本土集成电路产业发展。但我们仍应理性客观地看待现实的差距,在核心技术自主开发的战略方针下,我们要如海绵一样吸收世界先进的技术和人才,开放创新并融入全球产业链。“阿斯麦的发展历程,值得我们学习和借鉴。”

【主讲人简介】

  方刚博士,曾在西安交通大学从事数学教学工作,在荷兰埃因霍温理工大学从事编码理论研究。拥有西安交通大学计算数学学士学位和应用数学硕士学位,荷兰埃因霍温理工大学编码理论博士学位。2011年被评为山东省A类人才。

  在职业生涯中从事过不同的商业领域,在中外不同公司的任职中拥有超过25年的高级管理人员经验。曾任世界500强荷兰皇家飞利浦(Philips)被动元器件和磁性材料事业部的中国区总经理;世界著名半导体高科技公司荷兰阿斯麦(ASML)中国区的总经理兼客户服务部总经理,是第一个率先建立阿斯麦中国公司的中国区经理;东华能源股份有限公司(中国深圳证券交易所上市公司)董事长兼总经理;天发石油股份有限公司(中国深圳证券交易所上市公司)的总经理;加拿大安泰瑞能源有限公司(多伦多交易所上市公司)董事长兼首席执行官;香港丝路物流控股有限公司(香港联交所上市公司)首席执行官。

  (来源:科研处)


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